研磨液的作用

2020-08-31 07:57:55

研磨液废液处理目前,对于单晶蓝宝石的加工需采用切片、倒角、研磨、抛光等多道工序完成,其中研磨加工是工件获得良好平面度、保证抛光质量和效率的关键工序,也是专家学者研究的热点。单晶蓝宝石的研磨一般利 用 逐 级 减 小 研 磨 液 中 B4C 磨 料的粒径,控制研磨的进给量,来获得较好的表面粗糙度。由于研磨过程中,硬度较大的磨料在工件和研磨盘之间滚轧,容易造成较大的表面损伤层,增加了抛光时间;另外研磨液中磨料利用率低、耗费大、还污染环境。目前,固结磨料由于可依靠凸起的磨粒实现材料的微量切除而成为了高效低损伤 加 工 的 有 效 手 段。Liang等采 用超 声 辅助的金刚石树脂砂轮对单晶蓝宝石进行磨削,获得了0.4~0.6μm的 表 面 粗 糙 度。Kim 等使用固结的金刚石研磨垫并在研磨液中加入氧化铝磨料双面研磨蓝宝石工件,利用氧化铝磨粒对研磨垫的修整 实 现 了1μm/min的材料去除速率。固结磨料加工中,研磨抛光液的化学作用也不容忽视。Tian等利用固结磨料抛光硅衬底,比较了不同抛光液对材料去除率和表面质量的影响,发现抛光液组份和pH 值的改变对抛光效果具有较大影响,从而推断抛光液与工件表面具有一定的化学作用。居 志 兰 等研究了固结磨料抛光水晶中,抛光液中的化学物质可以软化水晶玻璃表面表层,从而有利于材料去除速率的提高。但由于蓝宝石的高化学稳定性,蓝宝石晶片研磨过程中的研磨液的化学作用尚未见报道。

电话咨询
产品中心
客户案例
联系我们